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                  技術文章/ article
                  
        
                   您的位置：首頁  -  技術文章  -  日本KOFLOC Kyoto PI質量流量控制器 ST-500系列仕樣圖 
                  
        
                  
      
                  
      
                  
        	
                  日本KOFLOC Kyoto PI質量流量控制器 ST-500系列仕樣圖
                  
            
                  更新時間：2024-04-03      瀏覽次數：531
                  
            
                  
            	 
                  日本KOFLOC Kyoto PI質量流量控制器 ST-500系列仕樣圖
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                  3.仕様
                  （1）仕様
                  產品名稱PI質量流量控制器
                  型式名 ST-500
                  流量(N2 換算) 100SCCM,300SCCM,500SCCM
                  1可持續土地管理、3可持續土地管理、5可持續土地管理、10可持續土地管理30 SLM
                  閥門操作常閉
                  最小制御流量 2%F.S.
                  流量精度 ※１ ≦±1.0%S.P.（10% - 100%）
                  ≤±0.1%F.S.(2%-10%)
                  再現性 ≦±0.2%F.S.
                  応答時間 ≦1sec.
                  必要差圧 50 - 300kPa 200 - 300kPa
                  最大動作圧 300kPa(G)
                  耐圧 1MPa(G)
                  流量精度保証溫度 15 - 40℃
                  工作溫度·濕度5℃-50℃·0-80%RH(無結露)
                  儲存溫度·濕度0℃-60℃·0-80%RH(無結露)
                  外部泄漏速率≤1×10-11Pa·m3
                  /秒(他)
                  PI功能SV：5-100%時±3psi的壓力變化，
                  超調：≦±2%F.S.，穩定時間(≦2%S.P.)：≦1秒。
                  可安裝姿勢沒有指的定的(自由)
                  接ガス部材質 SUS316L、 PTFE、 Au、 Co-Ni 合金
                  密封材料SUS316L，Au
                  激勵器系統電磁執行器
                  標準継手?面間寸法 1.125 W-Seal 92mm
                  6.35錄像機124毫米
                  駆動電源 ※２ 11-25VDC (5VA max.)
                  數字接口DeviceNet™
                  製品重量 約 1 kg
                  ※1：校準氣體(N2)及本公司基準設備測量的精度。
                  ※2：請將本機連接(接地)到框架接地。

                  
            
                  
         	
                                            
        
                  
      
      
    
                  
  
                  

                  

 



                  
  
                  
    
    
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