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                  技術文章/ article
                  
        
                   您的位置：首頁  -  技術文章  -  日本KOFLOPI型號 ST-500 系列質量流量控制器的介紹 
                  
        
                  
      
                  
      
                  
        	
                  日本KOFLOPI型號 ST-500 系列質量流量控制器的介紹
                  
            
                  更新時間：2024-04-03      瀏覽次數：564
                  
            
                  
            	 
                  日本KOFLOPI型號 ST-500 系列質量流量控制器的介紹
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                  ■目標流體：氣體　
                  ■最大流量：氣體 100SCCM~30SLM
                  ■精度：±1%SP (10~100%FS)
                  　　　　±0.1%FS (2~10%FS)
                  • PI…壓力不敏感
                    可針對壓力波動進行穩定的流量控制。
                  • 帶隔膜式閥門的金屬密封MFC ，
                    通過EP處理和氧化膜處理，
                    可兼容腐蝕性流體。
                  • 兼容DeviceNet通信
                  • 與 W 密封配件兼容
                  • SP精度可實現高精度測量，
                    1秒內響應全流量控制范圍
                  • 帶有專用應用程序的多范圍功能

                  現有型質量流量控制器在供給側
                  通過對壓力變動過敏反應，瞬間變大
                  由于流量紊亂等，當控制變得不穩定時
                  有這樣的課題。
                  ST-500具有解決該問題PI功能
                  （PI…壓力不敏感（壓力不靈敏）
                  是新配備的質量流量控制器。

                  在流量傳感器前段搭載有壓力傳感器，
                  將由此捕捉到壓力變動與變動前的壓力進行比較
                  并實時地對閥開度進行校正
                  由此，能夠對壓力變動進行穩定流量控制
                  是有可能的。
                  需要半導體制造裝置等穩定性和準確性
                  適用于氣體供給工藝。
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