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                  otsukael積分光度計

                  otsukael積分光度計除了可以進行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外,它還通過實現自動可變測量角度機構來兼容所有類型的薄膜。除了傳統的旋轉分析器方法外,還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機構提高了測量精度。

                  • 產品型號:SLS-6500HL
                  • 廠商性質:經銷商
                  • 更新時間:2025-06-26
                  • 訪  問  量:4292
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                    otsukael靜態光散射光度計 積分光度計SLS-6500HL的介紹
                   
                    除了可以進行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外,它還通過實現自動可變測量角度機構來兼容所有類型的薄膜。除了傳統的旋轉分析器方法外,還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機構提高了測量精度。
                   
                    特征:
                   
                    可在紫外-可見(300 至 800 nm)波長范圍內測量橢圓參數
                   
                    能夠分析納米級多層薄膜的膜厚
                   
                    通過 400 通道或更多通道的多通道光譜快速測量橢圓光譜
                   
                    支持通過可變反射角測量對薄膜進行詳細分析
                   
                    通過創建光學常數數據庫和添加配方注冊功能提高可操作性
                   
                    測量項目
                   
                    橢圓參數(tanψ,cosΔ)測量
                   
                    光學常數(n:折射率,k:消光系數)分析
                   
                    膜厚分析
                   
                    測量對象
                   
                    半導體ウェーハ
                   
                    ゲート酸化薄膜,窒化膜
                   
                    SiO2,SixOy,SiN,SiON,SiNx,Al2O3,SiNxOy,poly-Si,ZnSe, BPSG,TiN
                   
                    レジストの光學定數(波長分散)
                   
                    化合物半導體
                   
                    AlxGa(1-x)As 多層膜,アモルファスシリコン
                   
                    FPD
                   
                    配向膜
                   
                    各種新素材
                   
                    DLC(Diamond Like Carbon),超伝導用薄膜,磁気ヘッド薄膜
                   
                    光學薄膜
                   
                    TiO2,SiO2,反射防止膜
                   
                    リソグラフィー分野
                   
                    g線(436nm),h線(405nm),i線(365nm)などの各波長におけるn,k評価
                   
                   
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