日本tekhne露點(diǎn)儀TK-100 微量水分/露點(diǎn)變送器介紹

更新時(shí)間：2026-01-21

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在工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)，微量水分往往比溫度、壓力更“隱形"，卻能在關(guān)鍵時(shí)刻讓產(chǎn)品報(bào)廢、催化劑失效、甚至整批半導(dǎo)體晶圓報(bào)廢。日本 TEKHNE 公司把“陶瓷阻抗"技術(shù)做到，推出了 TK-100 在線(xiàn)露點(diǎn)變送器——一款把“-100 °C 露點(diǎn)"做成標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)品的“小鋼炮"。今天，我們就從原理、結(jié)構(gòu)到場(chǎng)景，拆解這臺(tái)儀器的真正實(shí)力。

一、把“陶瓷片"做成微量水“天平"
TK-100 的核心是一層納米級(jí) Al?O? 陶瓷膜，上下覆鉑電極。水分子進(jìn)入孔隙后，會(huì)改變離子導(dǎo)電率；儀器用 1 kHz 交流電橋測(cè)出阻抗變化，再對(duì)照 NIST 溯源的露點(diǎn)-阻抗曲線(xiàn)，直接算出露點(diǎn)溫度。
因?yàn)闆](méi)有放射源、電解質(zhì)和光學(xué)窗口，它幾乎“零漂移"——數(shù)據(jù)＜1 °Cdp/年，用戶(hù)現(xiàn)場(chǎng)五年不標(biāo)仍穩(wěn)如初見(jiàn)。

二、-100 °C 不是“實(shí)驗(yàn)室傳說(shuō)"傳統(tǒng)冷鏡式到 -80 °C 已需要多級(jí)泵吸和冷源，而 TK-100 在 25 °C 環(huán)境溫度下，靠一片陶瓷就能覆蓋 -100 … +20 °Cdp，相當(dāng)于 0.1 ppb～2.3×10? ppmV 的跨度。在半導(dǎo)體級(jí) 9 N 氮?dú)庵校?96 °Cdp 對(duì)應(yīng)的含水量?jī)H 2 ppb，TK-100 仍能給出 ±3 °C 以?xún)?nèi)的重復(fù)性，為晶圓廠“ppt 級(jí)"干燥提供實(shí)時(shí)判據(jù)。

三、在線(xiàn)拆裝，不停機(jī)也能換探頭工業(yè)最怕“停車(chē)標(biāo)定"。TK-100 可選帶壓插拔閥（Purge port），在 30 MPa 管道中無(wú)需泄壓，3 min 完成探頭更換；316 L 表面電解拋光 Ra≤0.25 μm，滿(mǎn)足 SEMI F20 的超高純要求。輸出標(biāo)配兩線(xiàn)制 4-20 mA，可直接進(jìn) DCS；撥碼切換“露點(diǎn)"或“ppmV"，無(wú)需軟件。Modbus 版更支持 32 臺(tái)串聯(lián)，為大型空分裝置節(jié)省一半布線(xiàn)成本。

四、場(chǎng)景實(shí)測(cè)：把“經(jīng)驗(yàn)值"變成“數(shù)字票"華東某 12 英寸晶圓廠用途：CDA 主干網(wǎng)在線(xiàn)監(jiān)測(cè)結(jié)果：TK-100 報(bào)警 -72 °Cdp，觸發(fā)冷干機(jī)切換，避免光刻機(jī)鏡頭霧化，單次節(jié)省 200 萬(wàn)美元級(jí)停機(jī)損失。華北鋰電干燥間用途：轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)出口反饋結(jié)果：把原先“每班人工抽檢"改為“TK-100 閉環(huán)控制"，干燥風(fēng)露點(diǎn)穩(wěn)定在 -55 °Cdp，極片批次含水率下降 18 %，涂布?xì)馀萑毕萋蕪?0.9 % 降到 0.1 %。西北空分 50 000 Nm3/h 制氮用途：分子篩出口保護(hù)結(jié)果：TK-100 提前 6 h 捕捉到 -70 °Cdp 上升拐點(diǎn)，判定分子篩破損，及時(shí)切換塔體，避免下游 PSA 催化劑“水中毒"，挽回 30 噸催化劑更換費(fèi)用。

五、五年質(zhì)保背后的“日本制造"細(xì)節(jié)

陶瓷片與鉑電極共燒溫度 1 600 °C，保證 10 年不剝離
電子倉(cāng)全灌膠，IP66 防護(hù)，-20～+60 °C 可直接裝在南沙平臺(tái)
出廠前 120 h 高低溫循環(huán)老化，每支探頭附帶 6 點(diǎn) NIST 可溯源證書(shū)
提供“現(xiàn)場(chǎng)比對(duì)筒"，用戶(hù)可用冷鏡式或標(biāo)準(zhǔn)氣在 15 min 內(nèi)完成驗(yàn)證，無(wú)需返廠

六、選型與訂購(gòu)指南
模型代碼：TK-100 – 輸出 – 接口 – 選項(xiàng)
輸出：M=4-20 mA，B=RS-485 Modbus
接口：N=Swagelok 6 mm，4=1/4″ VCR，T=1.5″ Tri-Clamp
選項(xiàng)：V1=2 m 電纜，V5=5 m 電纜，H=高亮度 OLED 現(xiàn)場(chǎng)顯示，P=帶壓插拔閥
示例：TK-100-M-4-H-P，表示 4-20 mA、1/4″ VCR、帶顯示、帶插拔閥，即半導(dǎo)體廠的“在線(xiàn)可換"配置。

結(jié)語(yǔ)當(dāng)“ppt 級(jí)干燥"成為半導(dǎo)體、鋰電、氫能的硬性門(mén)檻，TK-100 用一片陶瓷把“-100 °C 露點(diǎn)"從實(shí)驗(yàn)室搬到管道、反應(yīng)釜、晶圓廠天花板。它不需要放射源許可證，也無(wú)需昂貴的冷鏡維護(hù)，就能讓微量水分“現(xiàn)形"。如果你正在為空分出口、高純氣柜或干燥間尋找“買(mǎi)得起、裝得上、用得穩(wěn)"的露點(diǎn)方案，日本 TEKHNE TK-100 幾乎是一張“閉眼入"的門(mén)票。

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