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更新時間：2026-01-12 
瀏覽次數：38Nomura Micro Science（野村微電子科技） 開發的NOXiEMON®是不使用化學試劑的超純水中*在線監測儀，專為半導體、制藥等高純工藝領域設計。核心創新技術采用N-Lite® DEP（酵素擔持樹脂），通過固定化酶反應將H?O?直接分解為O?，再通過高精度DO計測量生成的氧氣濃度，間接換算H?O?含量。這一革命性設計摒棄了傳統化學法需要的試劑添加系統
標準技術規格
| 參數項 | 規格值
| -------- | ------------------------
| 測量原理 | N-Lite® DEP酶反應 + DO溶解氧檢測
| 測量范圍 | 0.3～60 ppb
| 檢測下限 | 0.3 ppb（DO波動≤0.1ppb時）
| 測量上限 | 60 ppb
| 精度 取決于DO計精度（通常±0.1ppb）
| 尺寸 | 600×600×1200 mm（W×D×H）
| 重量 | 約100 kg
| 自動功能 | 自診斷、自動沖洗啟動
產品核心優勢? 無試劑消耗：無需添加任何化學試劑，大幅降低運行成本和環境負擔? 維護簡便：無需更換試劑管路、泵閥等易損件? 抗干擾能力強：可準確測量TOC-UV系統產生的H?O?，不受其他物質干擾? 智能自診斷：自動判定N-Lite® DEP樹脂劣化狀態，預警更換時機? 超純水專用：專為電阻率≥18MΩ·cm的超純水系統設計典型應用場景半導體制造：監測TOC-UV氧化后殘留H?O?濃度晶圓清洗：控制清洗液中H?O?濃度在ppb級超純水系統：在線驗證UV氧化效率制藥用水：無菌制劑用水的痕量氧化劑監控
與傳統技術對比
| 對比項 | NOXiEMON®酶法 | 傳統化學法（如鈦絡合物法） |
| --------- | ----------- | ------------- |
| 試劑消耗 | 無 | 需持續添加化學試劑 |
| 維護頻率 | 低（僅更換樹脂） | 高（試劑管路、泵閥） |
| 速度 | 實時響應 | 2-10分鐘響應 |
| 交叉污染 | 無 | 試劑可能引入污染 |
| 運行成本 | 低 | 高（試劑+廢液處理） |
| 環境友好性| 優（無廢液） | 差（產生化學廢液） |
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