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更新時間：2026-01-10 
瀏覽次數：36DIC Global eFLOW系列超純水電阻率調控裝置：精密防靜電技術的革新方案在半導體制造與平板顯示（FPD）產業的超純水應用中，靜電引發的微粒子再附著與基板圖案靜電破壞是導致產品良率下降的隱性殺手。傳統防靜電方法難以在維持水質純度的前提下實現精準控制。DIC Global推出的eFLOW系列超純水用防靜電裝置，通過技術的中空纖維透氣膜CO?溶解技術，為這一行業難題提供了兼具高純度、高精度與高穩定性的解決方案。
一、技術原理：CO?溶解與電阻率精準調控1.1 核心工作機制eFLOW系列采用DIC自主開發的中空纖維透氣膜模組，將高純二氧化碳（CO?）高效溶解至超純水（DIW）中。其工作原理為：溶解過程：DIW在中空纖維膜內部流動，CO?從膜外側滲透溶解。微細化纖維膜束提供了巨大的氣液接觸表面積，實現快速、均勻的CO?溶解。離子化反應：溶解的CO?在DIW中形成碳酸，電離產生H?與HCO??離子，使原本絕緣的超純水具備可控導電性，從而有效耗散靜電荷。混合比調控：通過精確調節CO?飽和水與純DIW的混合比例，可將電阻率值穩定控制在0.15~1.9 MΩ·cm范圍內，精度達±0.03 MΩ·cm，確保防靜電效果與工藝要求的平衡。1.2 結構優勢該方案摒棄了傳統膜接觸器的復雜結構，無需高價CO?滲透膜等耗材，也無CO?排氣與廢水排放問題，系統簡化帶來故障率顯著降低
1.2 結構優勢該方案摒棄了傳統膜接觸器的復雜結構，無需高價CO?滲透膜等耗材，也無CO?排氣與廢水排放問題，系統簡化帶來故障率顯著降低。二、產品陣容：模塊化設計滿足不同工況eFLOW系列提供Panel mount（P系列）與Cabinet（C系列）兩種安裝形態，覆蓋1-50 L/min流量范圍：P系列（機架安裝型）eFLOW 1AP-B02：1–16 L/min，單模組PF-001L-NAeFLOW 2AP-B01：5–30 L/min，雙模組PF-001L-ND2eFLOW 3AP-B01：10–50 L/min，雙模組PF-001L-ND3C系列（機柜型）eFLOW 1AC-P201：1–16 L/min，單模組PF-001L-NAeFLOW 2AC-P201：5–30 L/min，雙模組PF-001L-ND2eFLOW 3AC-P201：10–50 L/min，雙模組PF-001L-ND3「2AP/2AC及3AP/3AC型號裝載雙CO?溶解模組」 ，可確保大流量工況下的溶解效率與響應速度
三、核心競爭優勢3.1 長壽命與低運維成本CO?供氣模組保證期限長達5年（DIC自制），遠高于傳統膜組件的1-2年使用壽命。結構簡單：無運動部件，管路分配方式獨特，長期運行穩定性優異。3.2 高精度快速響應控制精度：±0.03 MΩ·cm的電阻率控制精度，確保工藝一致性。水量變動應答速度快：即使流量大幅波動，系統也能迅速調整，維持出口電阻率穩定，滿足清洗工藝中斷續用水的需求。3.3 環保與兼容性經濟環保：無需消耗性膜材料，無CO?廢氣與廢水排放，運行成本降低40%以上。雙氧水殺菌對應：全系列支持3% H?O?循環殺菌，有效解決微生物滋生問題，符合半導體行業嚴格的潔凈要求。3.4 寬泛的工況適應性高水壓環境：使用壓力達0.5 MPa，可靈活配置于高壓噴射清洗等場景。低壓力損失：在3000 L/h（50 L/min）流量下，壓力損失僅0.06 MPa，對上游泵送系統影響極小。
四、典型應用領域eFLOW系列在半導體與FPD制造的關鍵清洗制程中發揮核心作用：掩模/網袋清洗：防止靜電導致的光罩圖案損傷與顆粒吸附洗滌器（Scrubber）清洗：確保晶圓表面清洗過程中的靜電耗散高壓噴射清洗：在0.5 MPa壓力下穩定控制電阻率，避免噴射過程中的靜電累積切割工序（Dicing）清洗：晶圓切割后清洗時，抑制因靜電造成的微粒子再附著槽式（Batch）清洗：大流量槽體清洗中維持全槽電阻率均勻性這些應用場景的共同特點是：超純水用量大、流速快、工藝對靜電敏感度高，eFLOW系列通過主動式CO?注入，將靜電影像降至低。五、技術價值與行業影響DIC eFLOW系列不僅是一項產品，更是超純水系統防靜電策略的范式轉變。它克服了傳統被動式防靜電（如接地、離子風）在液體環境中效果有限的弊端，通過主動改變介質電學特性實現源頭控制。相比同類產品，其5年模組壽命與±0.03 MΩ·cm控制精度的"雙高"指標，顯著降低了全生命周期成本（TCO）。在12英寸晶圓廠中，單臺eFLOW 3AC-P201可支持每月5萬片產能的清洗工藝，靜電相關缺陷改善率超過90%。六、結語隨著制程微縮至3nm及以下，超純水系統對靜電控制的要求已從"可選"變為"必修"。DIC Global eFLOW系列憑借其的中空纖維膜CO?溶解技術、長壽命模組設計與高精度控制能力，已成為半導體與FPD行業超純水防靜電的事實標準。對于追求效率與少運營成本的制造工廠而言，eFLOW不僅是設備選型，更是保障工藝窗口與產品競爭力的戰略投資。
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