nasgiken簡易微量金屬污染物回收裝置

更新時間：2025-07-26

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NASGiken的簡易微量金屬污染物回收裝置是一種專門用于半導體制造和納米技術領域中，從硅晶片表面和側面回收微量金屬污染物的設備。以下是關于該裝置的詳細介紹：

主要應用于半導體制造過程中，對硅晶片進行表面和側面的微量金屬污染物分析。適用于需要高精度和高效率分析的環境，如半導體制造廠、材料研究機構等。

表格

設備名稱	SC-3100	SC-8150	SC-9100	SC-9200
操作控制	電腦	手動	自動	自動
支架具的裝/卸	自動	手動	自動	自動
采樣液的供給	自動	手動	自動	自動
采樣液的回收	自動	手動	自動	自動
采樣基本模式	圓環形、扇形、固定半徑、圓弧	-	-	-
采樣追加模式	端面、弧形、長方形	-	-	-
晶圓排片	對圓環形、固定半徑、端面采樣模式有追加項	-	-	-
吸取式采樣	〇	-	〇	〇
親水面采樣	-	〇	〇	〇
外形尺寸(WxDxH)(mm)	600×494×600	600×494×700	600×494×790	690×550×790
重量	35Kg	40Kg	50Kg	55Kg
安裝環境	無塵通風柜內	-	-	-
所需外部資源	電源(100～240VAC)、純凈水、干潔氣源	電源(100～240VAC)、N2、干潔氣源	電源(100～240VAC)、純凈水、N2、干潔氣源	電源(100～240VAC)、純凈水、N2、干潔氣源

NASGiken的簡易微量金屬污染物回收裝置以其高效的污染物收集能力、自動化操作和技術，為半導體制造領域提供了一種創新的解決方案。

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