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                  技術文章/ article
                  
        
                   您的位置：首頁  -  技術文章  -  日本takano 晶圓視覺檢測設備Vi系列的產品介紹 
                  
        
                  
      
                  
      
                  
        	
                  日本takano 晶圓視覺檢測設備Vi系列的產品介紹
                  
            
                  更新時間：2024-08-08      瀏覽次數：878
                  
            
                  
            	 
                  日本takano 晶圓視覺檢測設備Vi系列
                  我們高速、高精度地檢查晶圓布線圖案、裂紋、異物污染等產品外觀。
                  ●產品信息
                  Vi系列規格
                          Vi-4207R、C               Vi-4307M，C               Vi-5301M  
                  晶圓尺寸         ～200毫米          ～300毫米                   ～300毫米
                  處理                 機器人                          機器人                         機器人
                  裝載機     打開盒式磁帶                開放式盒式磁帶、FOUP、FOSB
                  缺陷尺寸(μm)             1.2/ 2.4/5.0（物鏡10x/5x/2.5x）     
                  尺寸         W2280xD1140xH2060    W2280xD1140xH2060  寬2600x深1440x高1790
                  重量                 1650公斤                    1700公斤                2800公斤
                  應用    CMOS圖像傳感器、功率器件、RF濾波器、MEMS、玻璃、TAIKO晶圓
                  1. 缺陷示例

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                  2、按區域（層）分類精細檢測
                  ●區域分類根據器件圖案的特征實現多種檢測靈敏度和容差。
                  ●每個區域都可以有檢查參數。

                  3.通過各種照明和彩色圖像來精細化圖像
                  ●灰度檢測無法檢測到的缺陷可以通過彩色檢測來檢測。
                  ●各種光的組合使看不見的缺陷變得可見。


                  
            
                  
         	
                                            
        
                  
      
      
    
                  
  
                  

                  

 



                  
  
                  
    
    
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