NTM-ETA 是一款先進的高精度和可重復性高溫計，設計為作為獨立裝置運行或與 NTM-Delta
發射率獨立高溫計結合使用。
用于溫度計算的發射率可以直接從 NTM-Delta 或通過主機的串行通信輸入
NTM-ETA 的高靈敏度和寬動態范圍允許精確測量較低的最的低的溫度
NTM-ETA 基于 NTM-Delta 的最的先的進的技術，在全球擁有數千臺安裝，是一種可靠的低
成本解決方案，適用于 PVD、HDP-CVD、RTP 中的原位非接觸式溫度監測和其他過程。
特點與優勢
現場、非接觸式監測
實時測量
高靈敏度和寬動態范圍可實現最小溫度測量
占地面積小
閉環控制的快速更新率(高達 3,000 Hz)
先進的通信協議，包括 LAN、RS232 以及標準模擬和數字 I/O
針對每個 OEM 工藝環境定制的后臺補償
BIT(內置測試)
提供可選光學接口，包括遠程光學接口
可選嵌入式PID控制器
先進、用戶友好的軟件，用于設置、校準和數據記錄
更新時間：2024-03-07 
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