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                  技術(shù)文章/ article
                  
        
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                  日本理音rion支持氫氟酸的液中粒子傳感器“KS-20F”
                  
            
                  更新時間：2024-01-24      瀏覽次數(shù)：636
                  
            
                  
            	 
                  作為在最的先的進(jìn)的半導(dǎo)體制造現(xiàn)場等的質(zhì)量管理中支持氫氟酸溶液的液中微粒測量儀，里昂的能夠測量
                    藥液中0.02μm粒子的液中微粒傳感器“KS-20F"。

                  迄今為止，我們也向市場投入了測量藥液中0.03μm粒子的液中粒子傳感器。 但是，在最的先的進(jìn)的半導(dǎo)
                  體制造工序中，進(jìn)一步推進(jìn)了微小工藝技術(shù)，在半導(dǎo)體工廠和材料、藥液制造商的質(zhì)量管理中，對于微小
                  粒子的測量的需求越來越大。 隨著汽車電動化、電氣產(chǎn)品智能化( IoT化)、ICT、AI、高速通信規(guī)格( 5G )
                  的普及，半導(dǎo)體市場持續(xù)活躍。 因此，通過開發(fā)和投入可測量藥液中0.02μm粒子的液中粒子傳感器，在
                  滿足這些市場需求的同時，以大型半導(dǎo)體制造商為首，謀求擴(kuò)大相關(guān)材料、藥液制造商的訂單。

                  基于液中粒子傳感器“KS-20F"的系統(tǒng)構(gòu)成

                  「KS-20F」
                  測量系統(tǒng)各產(chǎn)品名稱:(左下)液中微粒傳感器KS-20F、(左上)控制器KE-40B1、
                  (右)注射器采樣器KZ-31W

                  主要特點(diǎn)
                    1 )支持氫氟酸溶液，實(shí)現(xiàn)最的小的可測粒徑0.02μm
                    2 )可以任意地將粒徑區(qū)分設(shè)定在0.02~0.08μm范圍內(nèi)
                    3 )豐富的選項支持批量測量和在線測量
                  測量系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示例
                  「KS-20F」


                  
            
                  
         	
                                            
        
                  
      
      
    
                  
  
                  

                  

 



                  
  
                  
    
    
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