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                  技術文章/ article
                  
        
                   您的位置：首頁  -  技術文章  -  適合曝光裝置的溫度管理 Apiste精密空調機PAU系列 
                  
        
                  
      
                  
      
                  
        	
                  適合曝光裝置的溫度管理 Apiste精密空調機PAU系列
                  
            
                  更新時間：2023-12-22      瀏覽次數：649
                  
            
                  
            	 
                  【最的適的合曝光裝置的溫度管理】Apiste精密空調機PAU系列
                  【最的適的合曝光裝置的溫度管理】Apiste精密空調機PAU系列
                  2023-12-20_112802.png
                  只需連接就能簡單地實現精密空調。自由調溫包圍的空間的Apiste的精密空調機PAU系列
                  [最的適的合曝光裝置的溫度管理]精密空調機PAU系列
                  在曝光裝置中，為了抑制光掩模的膨脹和收縮，
                  你需要供應冷風，以穩定溫度。
                  PAU機組可實現要求溫度、濕度、清潔度的空氣。

                  進行局部空間的空調的“PAU系列"包括：
                  與整體空調相比，可以抑制能量消耗，更不用說高精度的溫度管理，
                  即使對于困難的濕度，也可以根據需要進行從低濕環境到潮濕環境的精密控制。
                  此外，通過與風扇過濾器單元的組合，可以輕松實現廣泛的清潔度管理。



                  
            
                  
         	
                                            
        
                  
      
      
    
                  
  
                  

                  

 



                  
  
                  
    
    
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