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                  產(chǎn)品分類
          
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                  技術(shù)文章/ article
                  
        
                   您的位置：首頁  -  技術(shù)文章  -  SHASHINA KAGAKU日本寫真化學(xué) 緊湊型膜厚監(jiān)控儀 
                  
        
                  
      
                  
      
                  
        	
                  SHASHINA KAGAKU日本寫真化學(xué) 緊湊型膜厚監(jiān)控儀
                  
            
                  更新時(shí)間：2023-12-08      瀏覽次數(shù)：527
                  
            
                  
            	 
                  緊湊型膜厚監(jiān)控儀是一種反射分光光度計(jì)，使用小型反射探頭，適用于從
                  實(shí)驗(yàn)室水平到生產(chǎn)過程中在線100%檢測的所有情況。它具有出色的可維
                  護(hù)性，可用于過程設(shè)備和生產(chǎn)線管理。
                  最多可同時(shí)測量9種類型的透明薄膜。
                  它可用作各種多層薄膜工藝的在線或終點(diǎn)監(jiān)控器。
                  緊湊型探針可以安裝在加工工具內(nèi)部的小空間中。還可以通過使用EMA理
                  論來判斷混合層的混合比或多晶硅的結(jié)晶度。
                  2023-12-08_142227.png
                  緊湊型光纖探頭
                  可以安裝在加工工具內(nèi)部的小空間中
                  膜厚測量0.1nm (3o) 的重復(fù)性好
                  可測量多達(dá)9層的多層膜厚度
                  使用旋涂機(jī)檢測終點(diǎn)的視頻
                  可選擇光源
                  光源
                  白光LED
                  鎢合金
                  Deuterlum鹵素
                  波長范圍(nm)
                  430-700
                  400-900
                  220900
                  無線 (選項(xiàng))
                  包含膜厚終點(diǎn)檢測軟件
                  靶厚度范圍 (nm)典型使用壽命 (小時(shí))
                  50--50,000
                  50--50,000
                  10--30,000
                  >50.000
                  10,000
                  1,000
                  電影1:終端監(jiān)視器的演示1
                  電影2:終端監(jiān)視器的演示2
                  材料分析功能
                  用EMA評價(jià)復(fù)合材料的混合比
                  自動映射階段 (選件)
                  結(jié)晶度與光學(xué)常數(shù)分析

                  
            
                  
         	
                                            
        
                  
      
      
    
                  
  
                  

                  

 



                  
  
                  
    
    
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